דיוק העיבוד הוא המידה שבה הגודל, הצורה והמיקום בפועל של פני השטח של החלקים המעובדים תואמים את הפרמטרים הגיאומטריים האידיאליים הנדרשים לפי השרטוטים. הפרמטר הגיאומטרי האידיאלי, עבור הגודל, הוא הגודל הממוצע; עבור גיאומטריית פני השטח, זהו המעגל המוחלט, הגליל, המישור, החרוט והקו הישר וכו'; עבור המיקום ההדדי בין המשטחים, זה המקביל המוחלט, אנכי, קואקסיאלי, סימטרי וכו'. הסטייה של הפרמטרים הגיאומטריים בפועל של החלק מהפרמטרים הגיאומטריים האידיאליים נקראת שגיאת עיבוד.
